徐德輝，中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所副研究員，2006年起開始從事微納機(jī)電系統(tǒng)、微納技術(shù)的研究工作，開發(fā)的CMOS-MEMS技術(shù)實(shí)現(xiàn)圓片級封裝非 致冷紅外探測微系統(tǒng)，研究的微機(jī)械諧振器fQ乘積逼近單晶硅材料的極限，在國際上首次驗(yàn)證了單晶硅聲子晶體聲波調(diào)控減少微機(jī)械諧振器能量損耗。 承擔(dān)基金項(xiàng)目2項(xiàng)，先后參加了02專項(xiàng)、863、973、預(yù)研等系列科研項(xiàng)目的研究工作；在微納技術(shù)及器件集成研究方面已發(fā)表論文71篇，其中SCI 收錄42篇； 授權(quán)中國發(fā)明專利20項(xiàng)，申請中國發(fā)明專利24項(xiàng)；授權(quán)美國發(fā)明專利2項(xiàng)；申請國際發(fā)明專利5項(xiàng)。個(gè)人研究成果引起國際學(xué)術(shù)界的廣泛關(guān)注， 經(jīng)常受邀擔(dān)任IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems、Nanotechnology、IEEE Journal of Sensors、Journal of Micromechanics and Microengineering、IEEE Transactions on Device and Materials Reliability、IEEE Transactions on Industrial Electronics、IEEE Photonics Technology Letters、IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology、Journal of Vacuum Science and Technology、Modern Physics Letters B、Nuclear、Optical Engineering等國際刊物的審稿人。